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中国取得EUV技术重要突破，阿斯麦CEO还在“嘴硬”？
最后更新: 2025-04-29 13:54:45在和国际上各团队与公司对1 μm固体激光驱动等离子体EUV光源CE的实验结果作对比后发现，林楠团队研究中所获得的CE最大值3.42%，已处于国际靠前水平，并超过商业化二氧化铜激光驱动EUV光刻光源CE值的一半。
“本文建立了固体激光驱动等离子体EUV光源实验平台，开展了1 μm固体激光激发Sn等离子体EUV辐射特性实验研究，（CE最大值3.42%）处于国际靠前、国内领先水平。”论文写道。
这篇论文还提到，目前商用二氧化碳激光驱动的EUV光源转换效率约为5.5%，该团队使用1 μm固体激光实现3.42%的最大转换效率，超过了荷兰纳米光刻高级研究中心（ARCNL）在2019年记录的3.2%和瑞士苏黎世联邦理工学院在2021年记录的1.8%；但落后于美国中佛罗里达大学在2007年达到的4.9%，以及日本宇都宫大学在去年创下的4.7%的转换效率。
林楠团队研究人员估计，其所建光源实验平台的理论最大转换效率可能接近6%。他们在论文中表示，正计划增加进一步的研究，以优化理论和实验结果。
国际上各团队和公司实现的1 μm固体激光驱动等离子体EUV光源转换效率对比 《中国激光》
值得注意的是，林楠团队在这篇论文中提及研究背景时指出，随着芯片制造的不断发展，EUV光刻机已成为高端芯片大规模量产和工业化不可或缺的设备，目前仅有荷兰阿斯麦公司能够制造，但对中国禁售。
《南华早报》也指出，自2019年以来，由于来自美国的不断施压，全球唯一的EUV设备制造商阿斯麦已收紧了对华半导体出口规则，尤其是在对华销售最先进型号的光刻机设备方面。
在本月的一次投资者电话会议上，阿斯麦CEO富凯曾声称，中国确实有可能制造出EUV光源，但要造出完整的EUV光刻机，还需要很多很多年时间。
阿斯麦CEO富凯 《经济学人》资料图
今年3月5日，阿斯麦发布2024年度报告。《南华早报》注意到，报告显示，尽管面临美国不断施压，这家荷兰企业仍计划于2025年在中国首都北京建立一个“新的回收与维修中心”。台媒《经济日报》分析称，美国一直阻止阿斯麦向中国出售最新设备，阿斯麦或考虑通过扩大维修业务以稳固中国市场。
根据最新年报内容显示，2024年，阿斯麦实现净销售额282.63亿欧元，同比增长2.55%，创下历史新高。净利润为75.71亿欧元，较2023年降低了3.4%。去年，中国大陆首次取代中国台湾，成为阿斯麦第一大市场，销售额达到101.95亿欧元，占其全球总营收的约36.1%。
针对美国胁迫荷兰对华进行科技封锁的相关情况，中国外交部发言人此前曾回应称，中方一贯反对美国泛化国家安全概念，以各种借口胁迫其他国家搞对华科技封锁。半导体是高度全球化的产业，在各国经济深度融合的背景下，美方有关霸道、霸凌行径严重违背国际贸易规则，严重破坏全球半导体产业格局，严重冲击国际产业链供应链的安全和稳定，必将自食其果。
中方敦促荷方，秉持客观公正立场和市场原则，尊重契约精神，以实际行动维护中荷两国和双方企业的共同利益，维护国际产业链供应链的稳定和自由、开放、公正、非歧视的国际贸易环境。中方将密切关注有关动向，坚决维护自身合法权益。
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- 责任编辑: 冉召月
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