我国首台国产场发射透射电镜发布！将为半导体工业等提供有力支撑

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我国首台国产场发射透射电镜发布！将为半导体工业等提供有力支撑

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2024-01-20 11:05:58 字号：A- A A+ 来源：新华社

最后更新: 2024-01-20 11:48:52

由生物岛实验室领衔研制，拥有自主知识产权的首台国产场发射透射电子显微镜于20日在广州发布。这标志着我国已掌握透射电镜用的场发射电子枪等核心技术，并具备量产透射电镜整机产品的能力，将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。

中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛联合中国科学院生物物理研究所研究员孙飞在2016年启动透射电镜有关研究，并于2020年在生物岛实验室组建起一支体系完整的透射电镜研制工程技术团队。团队成立三年多以来，相关研发工作接连取得重大突破。

研发团队介绍，此次推出的首款场发射透射电镜新品TH-F120，取名源自中华名山“太行”，寓意它将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。该场发射透射电镜利用被加速到120千电子伏特的高能电子与被观测样品中的原子发生相互作用，检测透射电子携带的样品信号转化为显微放大的图像，可以用来观察材料样品中的原子排列结构、细胞组织样品的精细超微结构、病毒和生物大分子复合体的精细结构，是科学家研究微观世界的重要仪器。

研发团队表示，该电镜拥有自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，可带来更佳的图像衬度和分辨率。

生物岛实验室是广东省首批省实验室之一。自成立至今，生物岛实验室优化整合力量，加快成果转化、产业孵化和创新体系建设，不断培养高价值专利，与本地头部企业共建联合实验室、技术产业转化中心，累计孵化企业12家。

（记者马晓澄）
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