4、设备材料业

在设备材料领域，上海市同样在我国集成电路产业写下重要篇章。

《2018年上海集成电路产业白皮书》显示，2017年上海集成电路产业设备材料业也利润增幅高达95.7%，其中设备业2017年实现销售收入82.68亿元，同比增长111.9%。

白皮书指出，上海设备材料制造业已经走出初创阶段的发展路程，成功进入到“产品进入市场，市场引领企业；研发带动创新，创新推进发展”的双边发展新阶段。

上海市集成电路行业协会的最新数据，2018年上半年上海市集成电路设备材料业的销售收入为69.6亿元，占产业链比重为13.40%。

虽然营收和占比均不及其他三业，但上海市设备材料业在国内的影响力可不小。上海市拥有中微半导体、上海微电子装备、盛美半导体、上海凯世通等国内知名设备厂商，以及上海新阳、上海新昇、上海安集微电子、上海新傲科技等一众材料企业。

其中，中微半导体是国内技术最领先的集成电路设备企业之一，主要深耕刻蚀机领域，研制出中国大陆第一台电介质刻蚀机，目前中微半导体的介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备、MOCVD设备等均已成功进入海内外重要客户供应体系，如其介质刻蚀设备已打入台积电的7nm、10nm量产线，成功打破了国际巨头的垄断。

目前中微半导体刻蚀设备零部件国产化率已超过35%，已开发了20多个国内的反应器和系统主机加工等供应厂商，加工能力和质量达到了国际先进水平，截至2017年底，已有620多个中微半导体生产的刻蚀反应台运行在海内外39条先进生产线上。

再如上海微电子装备，同样是国内不可忽视的集成电路设备厂商。上海微电子装备是国内少数光刻机生产商之一，其生产的光刻机包括晶圆制造、IC封装、面板、LED等，其中封装光刻机在国内市场已占据不小的份额，是国内技术最先进的光刻机研制生产单位。

上海微电子装备“十五”期间承担了国家863重大科技专项任务扫描投影光刻机的研制任务，“十一五”和“十二五”期间被国家确定为02专项高端扫描投影光刻机研制和先进封装光刻机产业化的承担单位，其首台先进封装光刻机于2009年实现销售，上海微电子目前可生产加工90nm工艺制程芯片的光刻机，这是目前国产光刻机最高水平。

目前，上海微电子装备正在承担国家科技重大专项02专项在“十三五”期间的标志性项目“28nm节点浸没式分步重复投影光刻机研发成功并实现产业化”等。

材料领域，上海新昇是国内首个300mm大硅片项目的承担主体，目前其正片已通过了华力微电子的认证并实现每月2000片的销售，项目计划总产能为60万片每月，预计今年年底将达月产能10万片。

相信业内人士均有所了解，我国在300mm大硅片领域基本空白、完全依赖进口，上海新昇作为300mm大硅片国产化的排头兵，该项目的建设及量产出售等均对于国内集成电路材料业具有较大意义。

三、人才建设体系

作为我国较早发展且产业链最完整的集成电路城市，上海已建立了较为完整的集成电路人才教育及培训体系。

上海市拥有复旦大学、上海交通大学、同济大学、华东师范大学、上海大学等一众高等院校，其中复旦大学微电子学院是首批国家集成电路人才培养基地之一、国家集成电路人才国际培训（上海）基地，具有丰富的集成电路人才培养经验和雄厚的产学联合基础；

上海交通大学微电子学院同样是首批国家集成电路人才培养基地之一，承担了国家科技重大专项、国防重点、科技863重点项目等多个科研项目，形成了以系统级芯片设计、模拟与射频芯片设计为主的两个重点学科方向；

其他多个高等院校也设有集成电路相关专业及研究方向，如同济大学有电子科学与技术系、超大规模集成电路研究所、微电子中心等院系与部门；华东师范大学有电子工程系，集中研究集成电路设计、新型半导体器件与材料和微电子机械系统（MEMS）；上海大学设有微电子研究与开发中心，专门研究与开发大规模集成电路设计、培养微电子学与固体电子学方向的硕士、博士人才等。

除了高等院校外，上海市还拥有上海集成电路研发中心、上海硅知识产权交易中心、上海集成电路行业协会、上海集成电路技术与产业促进中心、上海集成电路测试专业技术服务平台等公共服务机构。

这些公共服务平台在积极推动集成电路产业人才培训的同时，也与国内外知名院校或企业合作建设人才培训机构。

如上海集成电路研发中心与国际光刻机巨头ASML在上海合作共建国内第一个世界级光刻人才培训基地，今年5月已正式揭牌。上海集成电路行业协会也联手华虹集团、上海硅知识产权交易中心，共同建设上海集成电路行业协会高技能人才培养基地……

四、政策与基金

上海市集成电路产业的健康发展，离不开政府的政策推动及基金支持。

2000年，上海市政府发布《关于本市鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策规定》，政策通过税收优惠、补贴奖励等多种方式鼓励发展软件及集成电路。

随后2012年，上海市政府印发《关于本市进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》，随后浦东新区人民政府也发布了《进一步鼓励产业和集成电路产业发展的若干政策》，进一步扩大产业政策的优惠范围和奖励力度。

2017年，上海市政府再次发布《关于本市进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》，这是在2012年发布的政策基础上，进一步聚焦支持上海集成电路领域重大项目建设、自主创新技术研发、企业培育和专业人才培养及引进等方面。

上海市政府还编制并发布了《软件和集成电路专项资金管理》、《上海集成电路工程产品首轮流片专项奖励实施细则》等相关配套实施细则。

在相关政策接踵出台的同时，2016年年底上海集成电路产业投资基金成立，基金总规模500亿元，分为100亿元的装备材料基金、100亿元的设计基金、300亿元的制造基金。

2017年7月，继100亿设计业并购基金和300亿制造业基金之后 ，总规模100亿元的上海集成电路装备材料基金正式签约，这标志着上海500亿元集成电路产业基金工作已全面启动。

五、小结

整体上看，相较于江苏省的封测先行、深圳的设计为优，上海更注重谋求产业结构的完整均衡，就国内各大城市而言，上海集成电路产业链最为完备，产业链各个环节均有所亮点，且无明显短板，这样的均衡发展助力产业链各环节间的协同联动，形成较好的产业生态。

如今全国范围内掀起集成电路发展热潮，上海市集成电路产业经过十年辉煌及近年来的稳定发展期后，未来的3~5年或将迎来重大发展机遇和转型，有望朝着更大规模、更具创新性、更具引领作用等方向突破。

根据《上海促进电子信息制造业发展“十三五”规划》，上海市的目标是力争2020年集成电路产业规模达到2000亿元，将通过提升产业发展战略，塑造设计、制造、装备材料三大支柱，拓展产业发展模式，打造IDM模式的产业第三极等发展手段，推进集成电路产业发展。